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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:RTP快速退火爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-RTP1200-Φ120-400-200℃/s
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。
詳情介紹:

        RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)也大大降低了間接污染試樣的可能性。設(shè)備配備LCD高清觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)實(shí)驗(yàn)操作均為圖文界面,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實(shí)驗(yàn)效率。設(shè)備預(yù)留了真空和氣路的快速接口,可以選購(gòu)我們的真空系統(tǒng)和混氣系統(tǒng)一起使用。

RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域:

  快速退火爐設(shè)備,可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點(diǎn)分析、薄膜沉積等。

RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

RTP快速退火爐

型號(hào)

CY-RTP1200-Φ120-400-200/s

爐管規(guī)格

內(nèi)徑120mm,加熱溫區(qū)400mm,總長(zhǎng)度550mm 材質(zhì):高純石英

升溫速率

200/s  380V

加熱元件

鹵素?zé)?/span>

真空接口

KF16

進(jìn)氣接口

寶塔頭 搭配外徑8mm導(dǎo)氣軟管使用

法蘭規(guī)格

φ120不銹鋼真空法水冷法蘭

水冷接口:φ8mm快插接頭

真空系統(tǒng)

雙極旋片泵 抽速1.1L/s

極限真空度: 10-1Pa

溫控系統(tǒng)

智能溫控表控溫

帶有超溫保護(hù)

測(cè)溫:K型熱電偶

水冷機(jī)

水箱容量9L,*大揚(yáng)程10m

電源要求

380V 50Hz18kW

外形尺寸

1200mm x 610mm x 570mm























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