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RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動(dòng),可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)也大大降低了間接污染試樣的可能性。設(shè)備配備LCD高清觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)實(shí)驗(yàn)操作均為圖文界面,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實(shí)驗(yàn)效率。設(shè)備預(yù)留了真空和氣路的快速接口,可以選購(gòu)我們的真空系統(tǒng)和混氣系統(tǒng)一起使用。
RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域:
快速退火爐設(shè)備,可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點(diǎn)分析、薄膜沉積等。
RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱
RTP快速退火爐
型號(hào)
CY-RTP1200-Φ120-400-200℃/s
爐管規(guī)格
內(nèi)徑120mm,加熱溫區(qū)400mm,總長(zhǎng)度550mm 材質(zhì):高純石英
升溫速率
200℃/s 380V
加熱元件
鹵素?zé)?/span>
真空接口
KF16
進(jìn)氣接口
寶塔頭 搭配外徑8mm導(dǎo)氣軟管使用
法蘭規(guī)格
φ120不銹鋼真空法水冷法蘭
水冷接口:φ8mm快插接頭
真空系統(tǒng)
雙極旋片泵 抽速1.1L/s
極限真空度: 10-1Pa
溫控系統(tǒng)
智能溫控表控溫
帶有超溫保護(hù)
測(cè)溫:K型熱電偶
水冷機(jī)
水箱容量9L,*大揚(yáng)程10m
電源要求
380V 50Hz,18kW
外形尺寸
1200mm x 610mm x 570mm
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