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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:多功能粉體包覆磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH150-I-RF-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
該設(shè)備主要?于粉體材料、顆粒材料的包覆制備(磁控濺射鍍膜、CVD、PECVD鍍膜)及熱處理等,?于改善粉體或顆粒的表?性能、分散性能、穩(wěn)定性能,賦予其導(dǎo)電性、耐腐蝕性等新功能。
詳情介紹:

粉體包覆磁控鍍膜儀是通過粉體在濺射腔室內(nèi)的旋轉(zhuǎn),以達(dá)到粉體表?均勻包覆的效果。

腔室可旋轉(zhuǎn)、傾斜,能快速出料。粉體包覆是指將?種或多種粉體顆粒投?到包覆設(shè)備中,通過物理或化學(xué)?法形成?層覆蓋在顆粒表?的物質(zhì)。粉體包覆的?的可以是改變顆粒表?的性質(zhì)、增加顆粒的穩(wěn)定性、控制顆粒的釋放速率等。

設(shè)備特點(diǎn)

可旋轉(zhuǎn)高純石英反應(yīng)腔,內(nèi)帶石英擋板,使樣品在不停的翻滾過程中,受熱更充分、鍍膜更均勻。


配備紅外加熱模塊,可實(shí)現(xiàn)快速升溫




設(shè)備參數(shù)

供電電壓 AC220V,50Hz
整機(jī)功率 3KW
系統(tǒng)真空 ≦5×10-4Pa
磁控靶槍 靶材尺寸 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm
冷卻模式 循環(huán)水冷
水流大小 不小于10L/Min
數(shù)量 1
真空腔體 腔體尺寸 直徑φ100Xφ150Xφ100mm
腔體材質(zhì) 高純石英
旋轉(zhuǎn)速度 0-20rpm
傾斜角度 0-15°
氣體控制 1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM
真空系統(tǒng) 配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S
濺射電源 RF電源,功率300W*1
控制系統(tǒng) CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)
設(shè)備尺寸 1800*630*1100
設(shè)備重量 200kg

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)